原子層堆積法を用いた ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発
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【プレスリリース】原子層堆積法を用いた ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発 ――半導体の高集積化・高機能化へ期待―― | 日本の研究.com 発表のポイント ナノシート状の酸化物半導体を用いて高性能・高信頼性なトランジスタを開発した。 原子層堆積法により極めて薄い酸化物半導体の成膜方法を開発しデバイス集積した。 半導体の高集積化とそれによる高機能化により、ビッグデータを利活用する社会サービスの展開が期待される。 https://research-er.jp/articles/view/122880 ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ トランジスタが進歩するなんて！ あと https://日本の研究.com っておもしろい！ 一見する価値あり！
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スレッドタイトル：原子層堆積法を用いた ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発